一般來說，真空脂在正常使用條件下不會和大多數(shù)樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，因?yàn)樗脑O(shè)計(jì)目標(biāo)就是在真空密封、潤滑場合中保持化學(xué)穩(wěn)定性和惰性。不過在使用真空脂前，需要確認(rèn)性能參數(shù)，畢*真空脂的品牌型號不同，參數(shù)也存在差異。所以在不明確性能參數(shù)前，在某些特殊情況下使用需要注意：

高溫環(huán)境

真空脂在超過推薦溫度時(shí)可能發(fā)生分解，生成的分解產(chǎn)物可能污染樣品表面。

高能束照射

在掃描電鏡、離子束等環(huán)境下，如果電子束或離子束直接照射到殘留的真空脂，可能導(dǎo)致局部碳化、沉積，影響樣品表面。

有機(jī)/溶劑敏感樣品

部分有機(jī)樣品（如高分子、柔軟的薄膜）如果接觸碳?xì)浠婵罩赡馨l(fā)生吸附或輕微溶脹，不利于實(shí)驗(yàn)。